半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)過程中具有生產(chǎn)流程復(fù)雜，生產(chǎn)工藝繁瑣，生產(chǎn)環(huán)境要求高，生產(chǎn)能耗高，容錯(cuò)率低等特點(diǎn)，設(shè)備運(yùn)維主要是靠人工現(xiàn)場(chǎng)操控和人工抄表。生產(chǎn)過程中，任何一臺(tái)公輔設(shè)備的宕機(jī)或者波動(dòng)存在難以及時(shí)發(fā)現(xiàn)設(shè)備異常、對(duì)異常做出響應(yīng)、在異常解決后對(duì)異常進(jìn)行分析。

該智慧廠務(wù)管理系統(tǒng)是以工業(yè)網(wǎng)絡(luò)安全為基礎(chǔ)，依托現(xiàn)代化工廠的各級(jí)網(wǎng)絡(luò)各類服務(wù)器、網(wǎng)關(guān)設(shè)備，通過連通全廠的重要設(shè)備儀表從而搭建起的信息化系統(tǒng)。針對(duì)生產(chǎn)車間的實(shí)際生產(chǎn)流程以及公輔設(shè)備的實(shí)際需求打造定制化的信息化系統(tǒng)，主要包含了空調(diào)系統(tǒng)、潔凈系統(tǒng)、廢氣系統(tǒng)、特氣系統(tǒng)、純水系統(tǒng)、廢水系統(tǒng)、電力監(jiān)控系統(tǒng)、PCW系統(tǒng)、能源管理系統(tǒng)、設(shè)備運(yùn)行系統(tǒng)。提升工廠設(shè)備安全穩(wěn)定運(yùn)行的能力、通過對(duì)廠區(qū)內(nèi)的能耗進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，優(yōu)化設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)，降低能耗，節(jié)約經(jīng)濟(jì)成本。